VDMOS(VMOS) 、UMOS (UDMOS、UVDMOS)
采用DMOS工藝的VMOS最初稱為VDMOS( Vertical Double-diffusedMOSFET，垂直溝道，雙擴散MOSFET)和VVDMOS( V-groove VerticalDouble-diffused MOSFET,V形槽柵垂直溝道雙擴散MOSFET)。這是直到目前仍然是絕對主流的功率MOSFET品種。因此在國內，如果沒有特別說明，VMOS大都是泛指功率MOSFET，在外文資料中，很多時候也是如此。
另一種與VMOS非常相近的是UMOS，顧名思義，這種功率MOSFET柵極驅動電路區的形狀與英文字母“u”非常相似(圖1. 17)。
因為UMOS出現時，DMOS丁藝已經成為主流，UMOS理所當然地會采用DMOS工藝，因此UMOS最初稱為UDMOS(U-groove Double-diffusedMOSFET,U形槽柵雙擴散MOSFET)、UVDMOS(U-groove Vertical Double-diffused MOSFET,U形槽柵垂直溝道雙擴散MOSFET)。除非有特別說明，UMOS與UDMOS,UVDMOS并無不同。
